哈特曼探测器原理基于哈特曼传感器的薄膜应力在线检测系统。该系统利用哈特曼透镜阵列将待测量表面划分成若干小区域，通过测量每个小区域成像光斑的相对位置变化来实现应力检测。
哈特曼传感器原理
哈特曼传感器是一种基于光学原理的传感器，利用哈特曼效应测量被测物体表面的应力变化。它能够实时监测薄膜的应力情况，对于一些薄膜工艺控制和材料研究具有重要意义。
哈特曼应力传感器原理
哈特曼应力传感器原理是通过测量光学组件之间的相对位移来间接检测被测物体表面的微小变形，从而推断出表面的应力情况。利用哈特曼效应的原理，哈特曼应力传感器具有高灵敏度、高精度的特点，适用于微纳米尺度下的应力检测。
